画期的な新しいシリコン共振型高圧マイクロセンサーが開発され、海洋学および石油産業の用途において、これまでにない精度と分解能を提供します。
この革新的なセンサーは、マイクロビームで支持されたデュアル共振器による体積圧縮センシングを利用しています。高圧下では共振器の周波数が変化し、精密な測定を可能にします。
研究者たちは、異なる圧力感度を達成するためにマイクロビームを修正し、効果的な温度自己補償を可能にしました。このセンサーは、0.01% FSを超える精度と、迅速な応答時間を誇ります。
この進歩は、さまざまな分野における高圧測定の精度を大幅に向上させることを約束します。幅広い圧力と温度範囲で動作できる能力は、センサー技術における大きな飛躍を示しています。