È stato sviluppato un nuovo microsensore risonante al silicio ad alta pressione rivoluzionario, che offre precisione e risoluzione senza precedenti per applicazioni oceanografiche e dell'industria petrolifera.
Questo sensore innovativo utilizza il rilevamento a compressione di volume con risuonatori doppi supportati da micro-travi. La frequenza dei risuonatori si sposta sotto alta pressione, consentendo misurazioni precise.
I ricercatori hanno modificato le micro-travi per ottenere diverse sensibilità alla pressione, consentendo un'efficace autocompensazione della temperatura. Il sensore vanta una precisione superiore allo 0,01% FS e un tempo di risposta rapido.
Questo progresso promette di migliorare significativamente la precisione delle misurazioni ad alta pressione in vari campi. La sua capacità di operare in un'ampia gamma di pressioni e temperature segna un importante passo avanti nella tecnologia dei sensori.