Ein bahnbrechender neuer Silizium-Resonanz-Hochdruck-Mikrosensor wurde entwickelt, der beispiellose Genauigkeit und Auflösung für ozeanografische und Erdölindustrieanwendungen bietet.
Dieser innovative Sensor nutzt die Volumenkompressionsmessung mit dualen Resonatoren, die von Mikroträgern getragen werden. Die Frequenz der Resonatoren verschiebt sich unter hohem Druck, was präzise Messungen ermöglicht.
Forscher modifizierten die Mikroträger, um unterschiedliche Druckempfindlichkeiten zu erzielen, was eine effektive Temperatur-Selbstkompensation ermöglicht. Der Sensor weist eine Genauigkeit von besser als 0,01 % FS und eine schnelle Reaktionszeit auf.
Dieser Fortschritt verspricht, die Präzision von Hochdruckmessungen in verschiedenen Bereichen erheblich zu verbessern. Seine Fähigkeit, über einen weiten Druck- und Temperaturbereich zu arbeiten, markiert einen großen Fortschritt in der Sensortechnologie.