Разработан революционный новый кремниевый резонансный микросенсор высокого давления, предлагающий беспрецедентную точность и разрешение для океанографических применений и применений в нефтяной промышленности.
Этот инновационный датчик использует измерение сжатия объема с двойными резонаторами, поддерживаемыми микробалками. Частота резонаторов смещается под высоким давлением, обеспечивая точные измерения.
Исследователи модифицировали микробалки для достижения различной чувствительности к давлению, что позволяет эффективно компенсировать температуру. Датчик обладает точностью лучше 0,01% FS и быстрым временем отклика.
Этот прогресс обещает значительно повысить точность измерений высокого давления в различных областях. Его способность работать в широком диапазоне давлений и температур знаменует собой значительный шаг вперед в сенсорных технологиях.