新型微型传感器革新高压海洋测量

一项突破性的新型硅谐振高压微型传感器问世，为海洋学和石油工业应用提供了前所未有的精度和分辨率。 这款创新传感器利用体积压缩传感技术，配备了由微梁支撑的双谐振器。谐振器的频率在高压下发生变化，从而实现精确测量。 研究人员对微梁进行了改进，以实现不同的压力灵敏度，从而实现有效的温度自补偿。该传感器精度优于0.01% FS，响应时间迅速。 这一进步有望显著提高各个领域高压测量的精度。其在宽压力和温度范围内运行的能力标志着传感器技术的一大飞跃。