Cảm biến vi mô mới cách mạng hóa các phép đo áp suất cao trong đại dương

Một cảm biến vi mô áp suất cao cộng hưởng silicon mới mang tính đột phá đã được phát triển, mang lại độ chính xác và độ phân giải chưa từng có cho các ứng dụng trong ngành hải dương học và dầu khí. Cảm biến sáng tạo này sử dụng cảm biến nén thể tích với bộ cộng hưởng kép được hỗ trợ bởi các chùm vi mô. Tần số của các bộ cộng hưởng thay đổi dưới áp suất cao, cho phép đo chính xác. Các nhà nghiên cứu đã sửa đổi các chùm vi mô để đạt được các độ nhạy áp suất khác nhau, cho phép tự bù nhiệt độ hiệu quả. Cảm biến tự hào có độ chính xác tốt hơn 0,01% FS và thời gian phản hồi nhanh. Sự tiến bộ này hứa hẹn sẽ tăng cường đáng kể độ chính xác của các phép đo áp suất cao trong các lĩnh vực khác nhau. Khả năng hoạt động trên phạm vi áp suất và nhiệt độ rộng đánh dấu một bước tiến lớn trong công nghệ cảm biến.