Un nouveau microsenseur résonnant en silicium à haute pression révolutionnaire a été développé, offrant une précision et une résolution sans précédent pour les applications océanographiques et pétrolières.
Ce capteur innovant utilise la détection par compression volumétrique avec des résonateurs doubles supportés par des micro-poutres. La fréquence des résonateurs se modifie sous haute pression, permettant des mesures précises.
Les chercheurs ont modifié les micro-poutres pour obtenir différentes sensibilités à la pression, permettant une auto-compensation efficace de la température. Le capteur affiche une précision supérieure à 0,01% de l'échelle complète et un temps de réponse rapide.
Cette avancée promet d'améliorer considérablement la précision des mesures à haute pression dans divers domaines. Sa capacité à fonctionner sur une large plage de pression et de température marque un bond en avant majeur dans la technologie des capteurs.